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              VPE氣相(液相)外延爐
              產品型號:
              產品產地:
              發布日期:2020-08-21
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              詳細介紹

              VPE氣相(液相)外延爐

              產品簡介:

              l 氣相外延是一種單晶薄層生長方法。氣相外延廣義上是化學氣相沉積的一種特殊方式,其生長薄層的晶體結構是單晶襯底的延續,而且與襯底的晶向保持對應的關系。

              l 在半導體科學技術的發展中,氣相外延發揮了重要作用。GaAs氣相外延技術生長的GaAs純度高、電學特性好,廣泛的應用于霍爾器件、耿氏二極管、場效應晶體管等微波器件中。

              產品特點:

              n 本設備的生長室采用立式石英反應生長室。整個設備包括以下各分系統:反應生長室系統、加熱系統、襯底支架傳動 系統、 氣路系統、水冷卻系統、報警系統、氣體供給與純化系統、氣動系統、控制系統。

              u 旋轉速度最大可達3000

              u 多坩堝轉換


              6
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