擴散/氧化爐設備

產品簡介：

l 設備應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件

l 適用6~8英寸的擴散、氧化、退火、合金等工藝

產品特點：

u 關鍵件全部采用進口件，具有高可靠性。

u 采用高可靠性工業計算機，對爐溫、閥門、送料等進行全自動控制，具有高可靠性及抗干擾能力。

u Robot自動傳送

u 具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態。

u 具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇。

u 具有多種報警功能及安全保護功能。

u 具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間。

u 恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度（可選擇）

u 結構形式：立式/水平熱壁式

u 氣源供給：

u 液態/固態源擴散

u 干、濕氧化及氫氧合成氧化

u 退火及合金工藝

u 微控或程控方式

u 根據用戶要求配置氣路