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              立式氧化擴散爐
              產品型號:
              產品產地:
              發布日期:2020-08-21
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              詳細介紹

              擴散/氧化爐設備

              產品簡介:

              l 設備應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件

              l 適用6~8英寸的擴散、氧化、退火、合金等工藝

              產品特點:

              u 關鍵件全部采用進口件,具有高可靠性。

              u 采用高可靠性工業計算機,對爐溫、閥門、送料等進行全自動控制,具有高可靠性及抗干擾能力。

              u Robot自動傳送

              u 具有友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態。

              u 具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇。

              u 具有多種報警功能及安全保護功能。

              u 具有強大的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節省維修時間。

              u 恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度(可選擇)

              u 結構形式:立式/水平熱壁式

              u 氣源供給:

              u 液態/固態源擴散

              u 干、濕氧化及氫氧合成氧化

              u 退火及合金工藝

              u 微控或程控方式

              u 根據用戶要求配置氣路


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