
擴散/氧化爐設備
產品簡介:
l 設備應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件
l 適用6~8英寸的擴散、氧化、退火、合金等工藝
產品特點:
u 關鍵件全部采用進口件,具有高可靠性。
u 采用高可靠性工業計算機,對爐溫、閥門、送料等進行全自動控制,具有高可靠性及抗干擾能力。
u Robot自動傳送
u 具有友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態。
u 具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇。
u 具有多種報警功能及安全保護功能。
u 具有強大的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節省維修時間。
u 恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度(可選擇)
u 結構形式:立式/水平熱壁式
u 氣源供給:
u 液態/固態源擴散
u 干、濕氧化及氫氧合成氧化
u 退火及合金工藝
u 微控或程控方式
u 根據用戶要求配置氣路