氟化粉體設備

產品簡介：

1、本設備主要用于氟化石墨烯粉體的燒結及處理

2、可選擇多工位處理方式

3、設備整體針對氟氣特性的獨特設計

產品特點：

該系統主要由真空工藝腔室組件、樣品加熱組件、樣品臺組件、氣路組件、廢氣處理組件、安裝臺架、水冷系統等組成。

主要技術指標：

1、結構型式：臥式，單管或多管系統自動控制

2、適應材料規格：粉狀材料

3、壓力：5kg

4、最高溫度：1100℃連續可調

5、單點溫度穩定性：≤±2 ℃/24h

6、系統極限真空度：優于10Pa

7、抽速：抽至極限真空時間＜15Min

8、供電電源：三相五線380V±10%，50Hz

9、冷卻水：2～4Kgf/c㎡，8L/min；