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              HVPE臥式
              產品型號:
              產品產地:
              發布日期:2020-08-21
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              詳細介紹

              HVPE(氫化物氣相外延設備)

              產品簡介:

              l 主要用于氮化鎵(GaN)、氧化鎵(Ga2O3)單晶生長

              l 以藍寶石/氧化鎵(Ga2O3)等為襯底外延生長氮化鎵(GaN)、氧化鎵(Ga2O3)厚膜或晶體

              產品特點:

              u 工業計算機控制系統(WINDOWS系統界面,操作方便簡潔)

              u 關鍵部件均采用進口,確保設備的高可靠性

              u 控溫精度高,溫區控溫穩定性好

              u 具有斷電報警、超溫/欠溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能

              u 晶體生長均勻性好、重復性高

              u 加熱控制:多溫區

              u 襯底可采用旋轉方式

              u 立式(臥式)結構,合理可靠,滿足客戶工藝要求


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